光學(xué)部分設(shè)計(jì)概述
定制樣品夾具，帶手動(dòng)傾斜校正，可在顯微鏡下，通過(guò)對(duì)焦的清晰度，對(duì)樣品盤進(jìn)行手動(dòng)傾斜校正，讓樣品在整個(gè)掃描范圍內(nèi)，處于同一對(duì)焦面內(nèi)，保證采用聚焦光斑測(cè)試時(shí)的穩(wěn)定性。
配備兼容2寸的大范圍高精度自動(dòng)掃描臺(tái)，手動(dòng)放片后，掃描臺(tái)托載晶片實(shí)現(xiàn)晶片上多點(diǎn)的自動(dòng)掃描Mapping功能，步長(zhǎng)精度<1μm，X方向運(yùn)動(dòng)范圍50mm，Y方向運(yùn)動(dòng)范圍50mm，Z方向運(yùn)動(dòng)范圍20mm。
顯微鏡可在顯微成像和光電流兩種模式下切換，顯微模式下，物鏡轉(zhuǎn)輪切換到紫外消色差透鏡組，可通過(guò)微區(qū)顯微鏡相機(jī)觀察微區(qū)圖像和激光光斑，用戶可以通過(guò)顯微像確認(rèn)樣品圖案是否對(duì)準(zhǔn)、激光光斑聚焦情況、樣品是否傾斜等。
顯微鏡模組內(nèi)通過(guò)激光采樣鏡和標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器，對(duì)激光能量波動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)，用于補(bǔ)償光電流測(cè)試的結(jié)果。
可通過(guò)物鏡切換轉(zhuǎn)輪，在聚焦和非聚集的兩種情況下測(cè)量：聚焦時(shí)，光斑通過(guò)紫外消色差透鏡組聚焦到0.5mm以下，Mapping小范圍，測(cè)量探測(cè)器的不均勻性；不聚焦時(shí)，物鏡轉(zhuǎn)輪切換到通孔，直接用高斯光束照射樣品，通過(guò)光闌控制高斯光束的束寬，根據(jù)輸入的版圖位置測(cè)量器件不同區(qū)域的響應(yīng)度。
激光包括193、266和355激光器，激光通過(guò)激發(fā)和收集模組、耦合光路模組傳輸?shù)轿镧R前端并聚焦，激光通過(guò)切換鏡進(jìn)行切換。通過(guò)衰減片對(duì)能量進(jìn)行衰減，通過(guò)光闌控制光束的束直徑。
氙燈和單色儀通過(guò)光纖接口接入耦合光路模組，經(jīng)過(guò)深紫外透鏡組準(zhǔn)直后，到達(dá)物鏡后，聚焦到樣品表面，光斑直徑約200微米。
電學(xué)部分設(shè)計(jì)概述
穩(wěn)態(tài)光源測(cè)試模式：
穩(wěn)態(tài)光源（等離子體光源+單色儀）照射下，標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器和待測(cè)樣品直接接偏壓，通過(guò)雙通道源表同時(shí)獲取光電流隨時(shí)間的變化。
脈沖光源測(cè)試模式:
脈沖電學(xué)測(cè)試:脈沖激光照射下,標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器和待測(cè)樣品接跨導(dǎo)放大器,將光電流轉(zhuǎn)化為電壓,通過(guò)多通道示波器同時(shí)獲取標(biāo)探和待測(cè)樣品的電壓隨時(shí)間的變化。此時(shí)偏壓固定,由放大器提供偏壓。
系統(tǒng)規(guī)格
革命性的插槽式并聯(lián)光路設(shè)計(jì)
優(yōu)勢(shì):
強(qiáng)大的光路穩(wěn)定性：取消了傳統(tǒng)意義上的顯微鏡周邊冗余，更加貼合光路穩(wěn)定性要求比較高的未來(lái)應(yīng)用場(chǎng)景
無(wú)限拓展的可能性：顯微鏡光路，熒光，RAMAN，振鏡掃描光電流光路，不同波長(zhǎng)的熒光與RAMAN測(cè)試，依次并聯(lián)，無(wú)限拓展
定量測(cè)試的高準(zhǔn)確度：激光功率校準(zhǔn)集成在顯微鏡模組中，通過(guò)測(cè)量激光采樣鏡獲取的少量激光光強(qiáng)，可作為激光功率的實(shí)時(shí)校準(zhǔn)和參考，并通過(guò)集成在熒光和拉曼模組中的連續(xù)衰減片調(diào)節(jié)光強(qiáng)。
更多的功能實(shí)現(xiàn)：熒光光強(qiáng)對(duì)于激發(fā)功率密度非常敏感，要準(zhǔn)確的比較不同樣品的熒光光強(qiáng)，需要應(yīng)用翹曲度模組通過(guò)自動(dòng)對(duì)焦，固定激發(fā)光斑的大小，同時(shí)通過(guò)激光功率校準(zhǔn)來(lái)固定激發(fā)光強(qiáng)，最終保證了顯微共聚焦熒光光強(qiáng)的穩(wěn)定性和可比較性。
智能化軟件平臺(tái)和模塊化設(shè)計(jì)
· 統(tǒng)一的軟件平臺(tái)和模塊化設(shè)計(jì)
· 良好的適配不同的硬件設(shè)備：平移臺(tái)、顯微成像裝置、光譜采集設(shè)備、自動(dòng)聚焦裝置等
· 成熟的功能化模塊：晶圓定位、光譜采集、掃描成像Mapping、3D層析，Raman Mapping，F(xiàn)LIM，PL Mapping，光電流Mapping等。
· 智能化的數(shù)據(jù)處理模組：與數(shù)據(jù)擬合、機(jī)器學(xué)習(xí)、人工智能等結(jié)合的在線或離線數(shù)據(jù)處理模組，將光譜解析為成分、元素的分布等，為客戶提供直觀的結(jié)果。可根據(jù)客
· 戶需求定制光譜數(shù)據(jù)解析的流程和模組
· 可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化的界面設(shè)計(jì)和定制化的RECIPE流程設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的采集和數(shù)據(jù)處理功能。
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