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Mirrors.TxTy0303

Mirrors.(Z12)TxTy系列亞納米轉(zhuǎn)鏡壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)

特點(diǎn)：
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1nm
• 最大負(fù)載 3.5 kg
• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案
• 支持無磁 (NM) 和高真空 (UHV) 選件升級(jí)
 
 
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產(chǎn)品概述
特點(diǎn)：
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1nm
• 最大負(fù)載 3.5 kg
• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案
• 支持無磁 (NM) 和高真空 (UHV) 選件升級(jí)
 
亞納米轉(zhuǎn)鏡壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)命名規(guī)則
亞納米轉(zhuǎn)鏡壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)選型表

型號(hào)

Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy1010

Mirrors.Z12TxTy0101

運(yùn)動(dòng)方向

TX,TY

Z，Tx & Ty 向

底面尺寸×高度（mm）

詳見工程圖

主體材料

鋁合金 & 不銹鋼

運(yùn)動(dòng)行程

θX, 3 mrad

θy, 3 mrad

Θx,10mrad

Θy,10mrad

 

12 um / 1 mrad / 1mrad

運(yùn)動(dòng)分辨率 (開環(huán))

0.05urad（開環(huán)）

0.2urad（開環(huán)）

Z：0.2 nm； Tx：0.05

urad；Ty：0.05 urad

運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán))

0.1urad（閉環(huán)）

0.5urad（閉環(huán)）

Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad；

Ty：0.1 urad

線性誤差

<0.1%

0.2%

共振頻率 (空載)

2 kHz

1 kHz

5.5 kHz

搖擺半徑

5.5mm

/

閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本）

SGS

電阻式

驅(qū)動(dòng)電壓

Max.150V

推薦使用溫度

-20~80℃

搭配控制器

Archimedes.3S控制器

鏡片重量

30g

30g

/
 
尺寸圖